[发明专利]一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置在审
| 申请号： | 201911015305.9 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110631502A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 黄祖杰;陈钦忠;陈锦烨 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 11569 北京高沃律师事务所 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构安装在设备底座上，校正平台上表面对应每个靶材顶出油缸分别开设一用于靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；主油缸的侧面和校正平台的下方分别安装一靶材翘曲度激光测量仪。本发明不仅结构简单、靶材翘曲度校正与测量效率高、安全性强，而且实现了靶材翘曲度的高精度自动校正与检测，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 顶出油缸 翘曲度 主油缸支架 设备底座 校正平台 主油缸 运动驱动机构 自动校正 激光测量仪 测量效率 滑动安装 溅射靶材 上表面 滑槽 滑移 校正 测量 伸出 侧面 检测 | ||
【主权项】：
1.一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，其特征在于：包括校正平台、设备底座、主油缸系统、靶材顶出油缸系统和靶材翘曲度激光测量仪，所述校正平台安装在所述设备底座上方，所述主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在所述主油缸支架上的主油缸，所述主油缸位于所述校正平台上方，所述主油缸支架通过第一运动驱动机构可移动地安装在所述设备底座上；所述靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各所述靶材顶出油缸分别通过一第二运动驱动机构可移动地安装在所述设备底座上，所述校正平台上表面对应每个所述靶材顶出油缸分别开设一用于所述靶材顶出油缸顶部伸出并滑移的顶出油缸滑槽；所述主油缸的侧面和所述校正平台的下方分别安装一所述靶材翘曲度激光测量仪。/n
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