[发明专利]一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备

摘要

本发明属于微纳制造相关领域，并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动，带动喷头装置沿竖直方向移动；喷头装置的密封腔与升降台连接，密封腔盖板固定在密封腔的上方，模块化喷头固定在密封腔的下方；密封装置与喷头装置密封配合；反应装置在喷头装置的下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积。本发明通过反应装置在喷头装置下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积，不进行原子层沉积时，密封装置移动到喷头装置的下方，对其进行密封从而保证喷头装置的真空度，以此实现模块化密封。

主权项

1.一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备，其特征在于，该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中：/n所述运动装置包括第一运动动子(102)、第二运动动子(103)、水平轨道、直线电机(101)和升降台，所述第一运动动子(102)和第二运动动子(103)安装在所述水平轨道的两侧，并分别与所述密封装置和反应装置连接，工作时在所述直线电机(101)的带动沿所述水平轨道移动，所述升降台与所述喷头装置连接，用于带动所述喷头装置沿竖直方向移动；/n所述喷头装置包括密封腔(302)、密封腔承载板(301)、密封腔盖板(303)、模块化喷头(306)和喷头承载板(307)，所述密封腔(302)通过所述密封腔承载板(301)与所述升降台连接，所述密封腔盖板(303)固定在所述密封腔(302)的上方，并通过设置的进气口(305)和出气口(308)与外部进行气体交换，所述模块化喷头(306)通过所述喷头承载板(307)固定在所述密封腔(302)的下方，用于喷射前驱体从而完成原子层沉积；/n所述密封装置位于所述水平轨道的一侧，不进行原子层沉积时，所述密封装置移动到所述喷头装置的下方，通过与所述喷头装置密封配合进而保持所述喷头装置的真空度，以此实现模块化密封，进行原子层沉积时，所述密封装置移动到所述喷头装置的外侧；/n所述反应装置位于所述水平轨道的另一侧，用于放置待加工工件，进行原子层沉积时，所述反应装置在所述喷头装置的下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积，不进行原子层沉积时，所述反应装置移动到所述喷头装置的外侧。/n