[发明专利]用于硅片背面的抛光液添加剂、抛光液以及背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法在审

专利信息
申请号: 201911015464.9 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN111015369A 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 陈坤;谢毅;苏荣;王岚;李忠涌;张鹏;王璞 申请(专利权)人: 通威太阳能(眉山)有限公司
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B57/02;H01L21/306;H01L31/18
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 严诚
地址: 620000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种用于硅片背面的抛光液添加剂、抛光液以及背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法,属于太阳能电池技术领域。按重量百分数计,抛光液添加剂包括:烷基三甲基氢氧化氨1~3%、磷酸钠盐0.5~2%、非离子表面活性剂2~5%和水90~96.5%。按重量百分数计,抛光液包括:碱类物质3~5%、抛光液添加剂2~5%以及水90~95%。背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法,包括:对进行扩散制程后的硅片的背面进行酸抛以去除磷硅玻璃;然后对硅片进行清洗;利用抛光液对清洗后的硅片的背面进行抛光。其能提高硅片背面的反射率和少子寿命,并能够提高背钝化晶硅太阳能电池的电池效率。
搜索关键词: 用于 硅片 背面 抛光 添加剂 以及 钝化 太阳能电池 方法
【主权项】:
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