[发明专利]一种应用于多碱光电阴极的复合光学薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911020021.9 申请日: 2019-10-24
公开(公告)号: CN110783157B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 赵伟林;赵恒;曾进能;赵学峰;常乐;何雁彬;龚燕妮;李廷涛 申请(专利权)人: 北方夜视技术股份有限公司
主分类号: H01J1/34 分类号: H01J1/34;H01J9/12;G02B1/113
代理公司: 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 代理人: 欧阳桥
地址: 650217*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了一种应用于多碱光电阴极的复合光学薄膜及其制备方法。所述复合光学薄膜由增透膜与亲和膜共同组成,所述增透膜的材料是TiO2薄膜,亲和膜的材料是HfO2薄膜。本发明的制备方法首先在硼硅玻璃窗基底上制作复合光学薄膜;然后以具有复合光学薄膜的硼硅玻璃窗衬底制作多碱光电阴极,并将其封装成多碱光电阴极具有复合光学薄膜二极管;最后,测试该二极管的阴极灵敏度及光谱响应曲线,满足要求则完成制备。本发明的复合光学薄膜及其制备方法可达到光学上的增透效果,增加入射光子经玻璃窗透射进入多碱光电阴极的概率,从而使得更多的入射光子被多碱光电阴极吸收,由此提高多碱光电阴极对入射光子的光电转换效率。
搜索关键词: 一种 应用于 光电 阴极 复合 光学薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种应用于多碱光电阴极的复合光学薄膜,其特征在于:/n所述复合光学薄膜由增透膜与亲和膜共同组成,所述亲和膜夹在增透薄膜和多碱光电阴极之间;/n所述增透膜的材料是TiO
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