[发明专利]载置台装置、光刻装置及物品的制造方法

摘要

本发明提供有利于高精度地控制载置台的姿势的载置台装置、光刻装置及物品的制造方法。使基板移动的载置台装置包括：第1载置台，保持基板；第2载置台，以使第1载置台能够旋转的方式安装该第1载置台，并且具有保持旋转角被调整了的第1载置台的保持机构，该第2载置台能够移动；检测部，检测第1载置台相对于第2载置台的位置偏移；以及控制部，进行控制，以在使保持机构开始保持第1载置台之后，进行在保持机构的保持力达到阈值之前使第2载置台移动的处理，控制部基于检测部的检测结果，进行处理时的第2载置台的变形所引起的第2载置台的姿势误差的推定，并基于该推定，控制第2载置台的姿势，以降低姿势误差。