[发明专利]隔离壁用感光性树脂组合物、硬化物及隔离壁的制造方法在审
申请号: | 201911021895.6 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN111103760A | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 小野悠树;今野高志 | 申请(专利权)人: | 日铁化学材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京中央*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种为所期望的光密度、所期望的剖面形状及硬化时不会产生收缩差的隔离壁用感光性树脂组合物、硬化物及隔离壁的制造方法。本发明的隔离壁用感光性树脂组合物为包含含有不饱和基的感光性树脂、末端具有两个以上的乙烯性聚合性基的树枝状聚合物、以及光聚合引发剂的隔离壁用感光性树脂组合物。本发明的隔离壁为使隔离壁用感光性树脂组合物硬化而成的硬化物。 | ||
搜索关键词: | 隔离 感光性 树脂 组合 硬化 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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