[发明专利]一种阳极封孔堵头及其密封方法在审
| 申请号： | 201911023160.7 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN111300031A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 程石涛;牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东 | 申请（专利权）人： | 托伦斯半导体设备启东有限公司;江苏大学 |
| 主分类号： | B23P21/00 | 分类号： | B23P21/00;F16J15/02 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢霞 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阳极封孔堵头其密封方法，具体为一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封垫和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本发明大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 封孔堵头 及其 密封 方法 | ||
【主权项】：
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