[发明专利]一种旋转靶材的绑定方法在审
申请号: | 201911025924.6 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN110804726A | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 陈标;郭朋;刘所心;段宇龙 | 申请(专利权)人: | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人: | 韦微 |
地址: | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明涉及一种旋转靶材的绑定方法,该方法是先将靶材和钛管进行粗化处理,再对靶材和钛管分别进行金属化处理,然后在靶材和钛管上均匀的涂覆一层助焊剂;将靶材和钛管组装好,启动加热装置,将铟槽中铟液氧化膜去除,开启铟管道阀门,使铟液缓慢的从底部充满整个焊缝至铟池,然后开始对靶材进行分段冷却;最终冷却至室温,完成整根靶材的绑定过程。本发明采用整根靶材绑定的方式,可以简单高效地完成多节靶材的绑定工作,其优点为:无需高温组装,对组装时间未有严格的控制,自动化水平比较高;对工人劳动强度和员工操作的熟练程度要求不高,焊合率和焊合质量很好。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 绑定 方法 | ||
【主权项】:
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