[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911027013.7 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111162748B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;张孟伦;徐洋;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：底电极和顶电极中的一个为第一间隙电极，第一间隙电极具有第一电极与第二电极，第一电极与压电层面接触，第二电极远离压电层，且空隙层在谐振器的厚度方向上位于第一电极与第二电极之间，第一电极与第二电极在电连接部处电连接，电连接部限定空隙层的边界的至少一部分。谐振器还包括电学隔离部，电连接部在谐振器的厚度方向上的投影落入电学隔离部之内，电学隔离部的内侧用于限定谐振器的有效区域在谐振器的横向方向上的边界。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 具有 空隙 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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