[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911027016.0 | 申请日： | 2019-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111010124B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;徐洋;杨清瑞;郝龙;张巍;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：底电极和/或顶电极为间隙电极，间隙电极包括空隙层、第一电极和第二电极，在谐振器的厚度方向上空隙层形成在第一电极与第二电极之间，第一电极与压电层形成面接触；且间隙电极包括处于第一电极侧的第一表面，处于第二电极侧的第二表面，第一表面与第二表面在谐振器的厚度方向上彼此相对，且空隙层位于第一表面与第二表面之间；谐振器还包括自第一表面和/或第二表面在谐振器的厚度方向上延伸到空隙层中的多个突起，突起的延伸高度小于空隙层的厚度。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 具有 空隙 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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