[发明专利]一种基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置与方法在审
| 申请号： | 201911028168.2 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110687074A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 周华民;周晓伟;张云;李茂源;余文劼;黄志高 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光学制件均匀性检测技术领域，并具体公开了一种基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置与方法，包括依次同轴放置的激光器、扩束器、偏振片、透明槽、成像镜组和波前传感器，透明槽中装有与待测光学制件材料折射率相同的折射率匹配溶液；检测时，激光器发出的激光经扩束器扩束后，通过偏振片成为偏振光，该偏振光依次通过透明槽前壁、折射率匹配溶液、透明槽后壁，然后由成像镜组成像，所形成的图像由波前传感器获取得到此时的波前差，进而通过有无制件时的波前差，得到制件折射率均匀性情况。本发明有效降低了制件几何形状对折射率检测的影响，为检测具有面形的光学制件的折射率均匀性提供了高效、适用性强、高精度的方法和装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学制件 透明槽 波前传感器 制件 偏振光 折射率匹配 激光器 均匀性 扩束器 偏振片 折射率 均匀性检测装置 材料折射率 方法和装置 均匀性检测 折射率检测 成像镜组 同轴放置 成像镜 检测 后壁 扩束 面形 前壁 激光 图像 | ||
【主权项】：
1.一种基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，包括依次同轴放置的激光器(1)、扩束器(2)、偏振片(3)、透明槽(6)、成像镜组(7)和波前传感器(8)，其中，所述透明槽(6)中装有与待测光学制件材料折射率相同的折射率匹配溶液(4)；/n检测时，所述激光器(1)发出的激光经扩束器(2)扩束后，通过偏振片(3)成为偏振光，该偏振光通过装有折射率匹配溶液(4)的透明槽(6)后，由成像镜组(7)成像，所形成的图像由波前传感器(8)获取。/n
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