[发明专利]用于检测诸如冲击、加速度、旋转力等平面内的力的集成压电传感器有效
| 申请号： | 201911029430.5 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110726498B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | F·普罗科皮奥;C·瓦尔扎辛 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/167;G01P15/09;H01L41/113;H01L41/25;H01L41/27;H01L41/332 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔卿虎 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电传感器(10)形成在半导体材料芯片中，该半导体材料芯片具有限定平面(XY)的表面(13A)并且集成有用于感测在平面内作用的力的感测结构(11；30；60)。芯片由限定悬臂(12；32；52；62)的衬底(13；33)形成，该悬臂(12；32；52；62)具有被约束到衬底的锚固部(15)的第一端(12A)和在外力的作用下自由弯曲的第二端(12B)。悬臂具有第一和第二纵向半部，每个纵向半部承载平行于芯片平面延伸的压电材料的相应的条状元件(16，17)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 诸如 冲击 加速度 旋转 平面 集成 压电 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种制造压电传感器的方法，包括：/n沿着衬底的纵向方向形成第一条带和第二条带，所述第一条带和所述第二条带中的每个条带具有位于相应的第一电极层和第二电极层之间的压电层；/n将所述第一条带的所述第一电极层电耦合到所述第二条带的所述第二电极层；/n将所述第一条带的所述第二电极层电耦合到所述第二条带的所述第一电极层；以及/n通过蚀刻所述衬底来形成从所述衬底在所述纵向方向上延伸的悬臂，所述悬臂包括所述第一条带和所述第二条带。/n
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