[发明专利]一种低温烧结的铟掺杂纳米银烧结膏的制备方法及烧结方法在审
| 申请号： | 201911030750.2 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110773908A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 刘盼;张靖;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | B23K35/40 | 分类号： | B23K35/40;H01L23/482 |
| 代理公司： | 11226 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人： | 阎冬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种低温烧结的铟掺杂纳米银烧结膏的制备方法，包括：S1：配置纳米银溶液；S2：将纳米铟颗粒加入纳米银溶液，获得铟掺杂纳米银浆液，所述铟掺杂纳米银浆液内，铟占总质量比的范围为0.05％‑2.5％；S3：采用混合器对铟掺杂纳米银浆液做均匀混合处理，获得铟掺杂纳米银烧结膏。本发明解决了现有的纳米银膏体烧结后裂纹较多，孔隙率较大，连接强度较低的的技术问题，有效提高银烧结膏热学，电学，力学性能可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 铟掺杂 纳米银浆液 烧结膏 纳米银溶液 纳米银 混合器 低温烧结 力学性能 纳米银膏 电学 烧结 孔隙率 纳米铟 质量比 热学 制备 配置 | ||
【主权项】：
1.一种低温烧结的铟掺杂纳米银烧结膏的制备方法，其特征在于，包括：/nS1：配置纳米银溶液；/nS2：将纳米铟颗粒加入纳米银溶液，获得铟掺杂纳米银浆液，所述铟掺杂纳米银浆液内，铟占总质量比的范围为0.05％-2.5％；/nS3：采用混合器对铟掺杂纳米银浆液做均匀混合处理，获得铟掺杂纳米银烧结膏；/n所述混合器包括逆时针旋转的第一转动筒及顺时针旋转的第二转动筒，或，顺时针旋转的第一转动筒及逆时针旋转的第二转动筒；/n所述均匀混合处理为，通过在第一转动筒外壁注入铟掺杂纳米银浆液，同时旋转所述第一转动筒及所述第二转动筒，剥离转动时从所述第一转动筒表面移至第二转动筒表面的贴覆物获得铟掺杂纳米银烧结膏。/n
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