[发明专利]单侧上下料半导体设备及其物料传送装置

摘要

本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。该物料传送装置，包括：移动底座用于承载物料；物料存放位组件设置在导轨组件的一侧，用于承载移动底座；物料移动机构，设置在导轨组件上，可沿导轨组件移动，第一牵引组件用于将移动底座从物料存放位组件移动到物料移动机构上，还用于将移动底座从物料移动机构移回物料存放位组件上；物料取放位组件设置在导轨组件的另一侧，用于承载移动底座，第二牵引组件用于将移动底座从物料移动机构移动到物料取放位组件上，还用于将移动底座从物料取放位组件移回物料移动机构上。本申请实施例实现了大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间且提高了工作效率。

主权项

1.一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置，其特征在于，包括：一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件，其中，/n所述移动底座用于承载物料；/n所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧，用于承载所述移动底座；/n所述物料移动机构，设置在所述导轨组件上，可沿所述导轨组件移动，其包括一个或多个第一牵引组件，所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上，还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上；/n所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧，用于承载所述移动底座，其包括一个或多个第二牵引组件，所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上，还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。/n