[发明专利]提高GaAs光电阴极稳定性的Cs/NF3激活方法在审
申请号: | 201911042061.3 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110706989A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 冯琤;刘健;张益军;宋宇飞;赵静;刘扬;蒋姝;杨会军 | 申请(专利权)人: | 南京工程学院 |
主分类号: | H01J9/12 | 分类号: | H01J9/12 |
代理公司: | 32300 南京源古知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郑宜梅 |
地址: | 211167 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及提高GaAs光电阴极稳定性的Cs/NF | ||
搜索关键词: | 光电阴极 激活 超高真空系统 超高真空 高温净化 光谱响应 化学刻蚀 激活系统 脱脂清洗 单色光 波段 红光 光照 净化 | ||
【主权项】:
1.提高GaAs光电阴极稳定性的Cs/NF
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