[发明专利]一种半导体材料生产技术设备在审

专利信息
申请号: 201911044998.4 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN110695783A 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 钱波 申请(专利权)人: 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司
主分类号: B24B5/36 分类号: B24B5/36;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221300 江苏省徐州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种半导体材料生产技术设备,具体涉及半导体材料制造技术领域,包括底座,所述底座顶部两端均设置有夹持机构,两个所述夹持机构之间设置有打磨机构,所述打磨机构底部设置有传动机构。本发明通过设置有打磨机构和传动机构,打磨机构可以对管件进行局部打磨,而传动机构可以带动打磨机构在螺纹杆的区域内进行移动,如果是调整打磨机构的位置,只需要控制螺纹杆转动,将打磨机构移动到合适位置机构,如果是对夹持机构内部的管件都进行打磨,只需要控制第二电机不停的正反转动,便可以使得打磨机构在两个夹持机构内不停来回移动,既可以针对具体位置进行打磨,还可以对管件的一段进行打磨,有效提高了打磨效率和打磨效果。
搜索关键词: 打磨机构 打磨 夹持机构 半导体材料 螺纹杆 对管 移动 底座顶部 合适位置 生产技术 正反转动 管件 底座 转动 电机 制造
【主权项】:
1.一种半导体材料生产技术设备,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部两端均设置有夹持机构,两个所述夹持机构之间设置有打磨机构,所述打磨机构底部设置有传动机构;/n所述打磨机构包括第一工作板(2)和第二工作板(3),所述第一工作板(2)与第二工作板(3)中部均贯穿设置有工作孔(4),所述第一工作板(2)和第二工作板(3)之间设置有打磨板(5),所述第一工作板(2)和第二工作板(3)面向打磨板(5)的一侧均设置有环形槽(6),所述打磨板(5)外侧通过轴承与环形槽(6)活动连接,所述第一工作板(2)与第二工作板(3)之间形成有缝隙,所述打磨板(5)外侧均匀设置有多个第一齿条(7),所述第一工作板(2)顶部设置有第三工作板(8),所述第三工作板(8)底部设置有转动槽(9),所述转动槽(9)内部设置有转轴(10),所述转轴(10)两端分别与转动槽(9)内壁活动连接,所述转轴(10)中部固定套设有带动盘(11),所述带动盘(11)外侧均匀设置有多个第二齿条(12),所述第一齿条(7)与第二齿条(12)相啮合,所述转动槽(9)一侧设置有工作腔(13),所述工作腔(13)内部设置有第一电机(14),所述第一电机(14)输出端贯穿第三工作板(8)内壁并与转轴(10)一端固定连接;/n所述打磨板(5)截面形状设置为圆形,所述打磨板(5)中部贯穿设置有打磨孔(15),所述打磨孔(15)内壁均匀设置有四组打磨设备,每组所述打磨设备均包括第一液压缸(16),所述第一液压缸(16)固定设置在打磨孔(15)的内壁,所述第一液压缸(16)输出端固定设置有第一连接杆(17),所述第一连接杆(17)一端固定设置有基板(18),所述基板(18)一侧固定设置有弧形打磨片(19);/n所述传动机构包括螺纹杆(20),所述螺纹杆(20)活动设置在两个夹持机构之间,所述螺纹杆(20)一端固定套设有第一连接盘(21),所述底座(1)靠近第一连接盘(21)的一侧设置有传动腔(22),所述传动腔(22)内部一侧设置有连接轴(23),所述连接轴(23)一端与传动腔(22)内壁活动连接,所述连接轴(23)上固定连接有第二连接盘(24),所述第一连接盘(21)与第二连接盘(24)之间设置有传输带(25),所述连接轴(23)一端设置有第二电机(26),所述第二电机(26)输出端与连接轴(23)固定连接,所述螺纹杆(20)上套设有移动块(27),所述移动块(27)与螺纹杆(20)螺纹连接,所述移动块(27)顶部与第一工作板(2)和第二工作板(3)均固定连接。/n
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