[发明专利]一种多敏感体分区灵敏力传感器

摘要

本发明公开了一种新多敏感体分区灵敏力传感器，传感器包括层叠式多敏感区力敏元件、三路检测电路、信号调理电路、信息解耦系统，其中的层叠式多敏感区力敏元件包括底座、三组层叠式力感元件、应变检测元件、承载平台。每个层叠式力敏元件在X、Y、Z三个坐标方向都包括多个相互独立的应变敏感单元。在每个应变敏感单元正反两面上按特定的策略布置了应变检测元件。本发明针对现有力传感器难以满足同时具备大量程及高灵敏度的要求，通过设计力传感器的多个敏感体，各个敏感体在宽量程内自动分区灵敏，最终实现传感器在整个大量程范围中实现多灵敏度测量。