[发明专利]一种光学参数与形貌同时测量的装置有效
| 申请号： | 201911045284.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110779874B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 宋斐;何晋国 | 申请（专利权）人： | 深圳瑞波光电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/55;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学参数与形貌同时测量的装置。该装置包括第一光路组件和第二光路组件。第一光路组件用于将第一光源光垂直照射到待测物品上，并将第一光源光经待测物品反射出的光线至少分为两束光；检测两束光中的一束光的光强；感应两束光中的另一束光，处理生成图像。第二光路组件用于将线偏振光斜射在待测物品上；改变线偏振光经待测物品反射后的光线的偏振方向，并输出偏振光；检测偏振光的光强。其中，线偏振光斜射在待测物品上被第一分光器垂直照射的位置。通过上述方式，本发明能够同时进行待测物品的反射特性和表面形貌的测量，也可进一步测试待测物品的椭偏特性，并且测量装置结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 参数 形貌 同时 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学参数与形貌同时测量的装置，其特征在于，包括：/n第一光路组件，用于将第一光源光垂直照射到待测物品上，并将所述第一光源光经待测物品反射出的光线至少分为两束光；检测所述两束光中的一束光的光强；感应所述两束光中的另一束光，处理生成图像；/n第二光路组件，用于将线偏振光斜射在待测物品上；改变所述线偏振光经所述待测物品反射后的光线的偏振方向，并输出偏振光；检测所述偏振光的光强；/n其中，所述线偏振光斜射在所述待测物品上被所述第一分光器垂直照射的位置。/n
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