[发明专利]一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU-8模具的制造方法有效
| 申请号： | 201911045358.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110787361B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 马炳和;张忠刚;罗剑;王善忠 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00;C23C14/18;C23C28/02;C25D7/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU‑8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU‑8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU‑8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU‑8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空心 倾斜 金属 阵列 及其 基于 su 模具 制造 方法 | ||
【主权项】：
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