[发明专利]长晶炉在审
| 申请号： | 201911046376.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110735185A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 赵然;李宪宾;张岩;邓少奎;鲍慧强;李龙远;赵子强;陈菲菲 | 申请（专利权）人： | 中科钢研节能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 11283 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 林治辰;王晓桐 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长晶炉，该长晶炉包括炉体和炉盖，炉体具有腔室，炉体上部开设有与所述腔室连通的开口，所述开口处套设有法兰体；所述炉盖设置在所述开口的上方并配置为打开和关闭所述开口；所述长晶炉包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和所述第二密封圈沿所述开口的径向向外依次设置在所述法兰体上，所述第一密封圈和所述第二密封圈之间间隔设置；当所述炉盖关闭所述开口时，所述第一密封圈、所述第二密封圈、所述炉盖以及所述法兰体之间限定出密封腔；所述法兰体开设有第一真空气路，所述第一真空气路的一端与第一真空源连通，另一端形成第一抽气口，所述第一抽气口与所述密封腔连通。本发明的长晶炉具有密封性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 密封圈 开口 长晶炉 法兰体 炉盖 连通 真空气路 抽气口 密封腔 炉体 腔室 间隔设置 径向向外 炉盖关闭 炉体上部 密封性好 依次设置 真空源 配置 | ||
【主权项】：
1.一种长晶炉，其特征在于，所述长晶炉包括炉体(10)和炉盖(20)，所述炉体(10)具有腔室(11)，所述炉体(10)上部开设有与所述腔室(11)连通的开口，所述开口处套设有法兰体(12)；所述炉盖(20)设置在所述开口的上方并配置为打开和关闭所述开口；/n所述长晶炉包括第一密封圈(30)和第二密封圈(40)，所述第一密封圈(30)和所述第二密封圈(40)沿所述开口的径向向外依次设置在所述法兰体(12)上，所述第一密封圈(30)和所述第二密封圈(40)之间间隔设置；当所述炉盖(20)关闭所述开口时，所述第一密封圈(30)、所述第二密封圈(40)、所述炉盖(20)以及所述法兰体(12)之间限定出密封腔；/n所述法兰体(12)开设有第一真空气路(121)，所述第一真空气路(121)的一端与第一真空源(50)连通，另一端形成第一抽气口(122)，所述第一抽气口(122)与所述密封腔连通。/n
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