[发明专利]一种带柔性层的电镀抛光磨头有效
申请号: | 201911047623.3 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110936288B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 曹华军;周进;懂朝阳;柴迎庆 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00 |
代理公司: | 重庆缙云专利代理事务所(特殊普通合伙) 50237 | 代理人: | 王翔 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种带柔性层的电镀抛光磨头,包括半球壳金属外层、半球壳柔性内层、连接座套、锁紧套和刚性支撑座;半球壳金属外层的外表面电镀有抛光层;半球壳柔性内层贴合在半球壳金属外层的内部;半球壳金属外层的圆筒安装在连接座套下端的敞口中;刚性支撑座包括连接部、置入部和金属柄;连接部插入在锁紧套中,并将连接座套压紧;金属柄下端连接在连接部的上端面中心;置入部上端连接在连接部的下端面中心;置入部插入在连接座套中,置入部下端的半球部插入在半球壳柔性内层内,将半球壳柔性内层压紧;本发明与工件接触处微小变形,实现局部面接触,不用考虑修整与磨损补偿,因而具有良好定位精度、加工精度及加工效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 电镀 抛光 | ||
【主权项】:
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