[发明专利]集成DBR的垂直结构LED及其形成方法在审
申请号: | 201911050771.0 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN110783439A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 王永进 | 申请(专利权)人: | 南京亮芯信息科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/46 | 分类号: | H01L33/46;H01L33/00 |
代理公司: | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 孙佳胤;陈丽丽 |
地址: | 210019 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及照明、显示和光通信技术领域,尤其涉及一种集成DBR的垂直结构LED及其形成方法。所述集成DBR的垂直结构LED包括:导电衬底,所述导电衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面;第一DBR层,位于所述导电衬底的所述第一表面上;外延层,位于所述第一DBR层上,包括沿垂直于所述导电衬底的方向依次叠置的第一接触层、量子阱层和第二接触层,所述外延层的厚度小于集成DBR层的垂直结构LED发射的光线的波长;第二DBR层,位于所述外延层背离所述第一DBR层的表面。本发明在LED器件内部形成谐振腔,显著提升电光转换效率,实现了对LED器件发光品质的改善。 | ||
搜索关键词: | 导电 衬底 垂直结构LED 第一表面 外延层 接触层 光通信技术领域 电光转换效率 第二表面 发光品质 量子阱层 谐振腔 波长 叠置 垂直 背离 发射 | ||
【主权项】:
1.一种集成DBR的垂直结构LED,其特征在于,包括:/n导电衬底,所述导电衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面;/n第一DBR层,位于所述导电衬底的所述第一表面上;/n外延层,位于所述第一DBR层上,包括沿垂直于所述导电衬底的方向依次叠置的第一接触层、量子阱层和第二接触层,所述外延层的厚度小于集成DBR的垂直结构LED发射的光线的波长;/n第二DBR层,位于所述外延层背离所述第一DBR层的表面。/n
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