[发明专利]剥离液、剥离方法及电子部件的制造方法在审
| 申请号： | 201911051149.1 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111142340A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 村上友佳子;植松育生 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/683 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及剥离液、剥离方法及电子部件的制造方法。本发明提供能够容易地将支撑板从包含基板、支撑板和粘接剂的层叠体剥离的剥离液、以及使用了该剥离液的剥离方法及电子部件的制造方法。根据实施方式，提供一种剥离液。剥离液是用于将支撑板从层叠体剥离的剥离液。剥离液包含第1溶剂和第2溶剂。第2溶剂的极性高于第1溶剂的极性。层叠体包含基板、支撑板和粘接剂。粘接剂位于基板及支撑板之间。粘接剂包含具有互不相同的第1官能团及第2官能团的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 方法 电子 部件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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