[发明专利]一种铜锆铝三元非晶合金薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201911052651.4 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110846617B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 魏先顺;应承希;严彪 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C22C9/00;C22C30/02;C22C1/02;C22C45/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 褚明伟 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种铜锆铝三元非晶合金薄膜及其制备方法；其包括的成分及该成分的原子百分比含量分别为：10.0～23.0at.％Al，33.0～38.0at.％Zr，以及余量的Cu。其制备方法包含：制备单一合金靶材；选择衬底材料，将衬底表面进行平整化，然后清洗并吹干待用；进行磁控溅射制备，其中，真空度值不低于5×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 铜锆铝 三元 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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