[发明专利]一种超洁净阀

摘要

本发明公开了一种超洁净阀，用于半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流体输控。所述阀利用超洁净材料包覆永磁体，形成永磁体内嵌式超洁净阀芯，并置于超洁净材料所制而成的流室内，外部驱动元件置于流室外部，依靠磁力实现阀芯运动的非接触式控制，控制阀口启闭与开度。相比于传统电磁阀，该发明避免了阀杆推动阀芯所需的动密封结构，无滑动摩擦副引发的颗粒脱落污染，且所有与介质接触的均为超洁净材料，可满足超洁净需求。相比于现有超洁净阀，无需驱动机构以及阀杆等传动机构与流室之间的隔膜密封，可避免隔膜疲劳破裂引发的泄漏与寿命问题。

主权项

1.一种超洁净阀，包括阀体、阀盖、阀芯、弹性组件和致动组件，其特征在于：所述的阀体与阀盖紧密装配后，阀体内部作为超洁净流室，在超洁净流室流体出口设置出口流道；阀盖内部设置进口流道，进口流道设置在超洁净流室流体入口；阀芯通过弹性组件固定在超洁净流室内，位于超洁净流室流体入口；阀芯为一个或多个永磁体，阀芯外包覆超洁净材料；致动组件设置在阀盖外壁，致动组件与阀芯相对设置，致动组件为变磁装置，通过磁性的变化与弹性组件配合实现阀芯的运动。/n