[发明专利]微型过滤器及MEMS传感器组件有效
| 申请号： | 201911056422.X | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110809207B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 畠山庸平;林育菁 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/02 | 分类号： | H04R1/02;H04R9/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开内容的第一方面公开了一种微型过滤器，其包括承载件(201)和滤膜(102)。承载件(201)具有形成于其内的在其厚度方向上贯通的贯通腔(205)。滤膜(102)叠置于承载件(201)上。滤膜(102)包括覆盖贯通腔(205)的一个开口的第一部分(104)与未覆盖所述开口的第二部分(106)，第一部分(104)被第二部分(106)环绕。第一部分(104)上排布有通孔(207)，第二部分(106)接合承载件(201)。第一部分(104)仅通过单个梁(108)来连接第二部分(106)，藉此使得第一部分(104)悬置在贯通腔(205)上。本公开内容的第二方面还提供了一种MEMS传感器组件。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 过滤器 mems 传感器 组件 | ||
【主权项】：
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