[发明专利]镜片底部气帘防护装置有效
| 申请号： | 201911056658.3 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112748641B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 龚辉;张洪博;郝保同;张瑞平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镜片底部气帘防护装置，气体通过设置在镜片底部一定空间内的斜向出气口，向镜片出射并在距离镜片一定距离处相遇，以在镜片底部形成防护气帘，有效防止污染物接触镜片，提高镜片的成像质量。进一步的，本发明采用斜向送风的方式，使镜片底部形成的防护气体的流场更加稳定，长时间使用受环境波动的影响较小，降低了设备的维护频率，提高设备的可靠性。而且，本发明中气体在通孔的中心相遇后自上而下扩散，使装置有较大的供气量使用范围，相应减少现场调试时间，提高镜片底部环境的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 镜片 底部 防护 装置 | ||
【主权项】：
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