[发明专利]用于优化干涉仪的光学性能的方法及设备有效
| 申请号： | 201911058419.1 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110836633B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | L.L.德克 | 申请（专利权）人： | 齐戈股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02055 | 分类号： | G01B9/02055 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李芳华 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用干涉仪测量测试对象的性质的方法，包含：a)提供校准信息，校准信息将干涉仪的对焦设定相关到测试对象相对于干涉仪的参考表面的位置；b)确定测试对象相对于参考表面的位置；以及c)使用干涉仪来收集测试对象的干涉仪图像，以用于测量测试对象的性质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 优化 干涉仪 光学 性能 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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