[发明专利]湿法清洗设备烘干机构在审
| 申请号： | 201911058856.3 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN110676200A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 莫科伟;祁志明;李松松 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本发明的优点：烘干机构采用升降带动热风管，有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品，能充分的烘干；吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖，从而达到吹干水分；标准件保证了机构整体稳定性，达到设备产品干进干出的目的，提高了质量，且提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 热风管 升降装置 吹干模 冷风管 热风 气缸 模组固定板 气缸固定座 烘干机构 感应器 热风烘干机构 湿法清洗设备 整体稳定性 标准件 槽体主体 吹干机构 上下升降 设备产品 左右摆动 左右移动 后侧面 烘干 吹干 覆盖 感温 模组 升降 保证 | ||
【主权项】：
1.湿法清洗设备烘干机构，其特征是槽体主体(1)后侧面下部设气缸固定座(2)、上部设模组固定板(7)，气缸固定座(2)上固定有气缸(3)，气缸(3)上固定有热风升降装置(4)，热风升降装置(4)上固定有热风管(5)，热风管(5)内设感温机构(6)，气缸(3)、热风升降装置(4)和热风管(5)组成上下升降热风烘干机构；模组固定板(7)上固定有吹干模组(8)和感应器(9)，吹干模组(8)上固定有冷风管(10)，模组(8)、感应器(9)和冷风管(10)组成左右摆动吹干机构。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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