[发明专利]超结器件及其制造方法在审
| 申请号： | 201911058984.8 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN112768522A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 肖胜安;曾大杰 | 申请（专利权）人： | 南通尚阳通集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/36;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超结器件，超结结构形成于第一N型外延层表面上方，超结单元的顶部位置上的P型柱的宽度小于N型柱的宽度且步进不变；N型柱由填充于沟槽中的第二N型外延层组成，P型柱由沟槽之间的第一P型外延层组成，第一P型外延层形成于第一N型外延层上；沟槽穿过第一P型外延层且底部和第一N型外延层接触；超结单元中P型柱的P型杂质总量和N型柱的N型杂质总量相匹配，P型柱的掺杂浓度高于N型柱的掺杂浓度。本发明还公开了一种超结器件的制造方法。本发明能降低工艺控制难度，同时还能提高器件的一致性；沟槽倾斜时，还能降低器件高温导通电阻，减少超结单元的顶部和底部PN杂质差异以及提高器件的击穿电压。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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