[发明专利]测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质有效

专利信息
申请号: 201911059835.3 申请日: 2019-11-01
公开(公告)号: CN111238380B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 西田和史;原仁;节田和纪 申请(专利权)人: 横河电机株式会社
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 韩锋
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种测定装置,在现有厚度仪中,在测定具有吸水性的测定对象物的厚度的情况下,测定光及参考光的透过率会因测定对象物的吸水量而变化,测定误差会增加。所述测定装置测定片状测定对象物的厚度,具备:检测部,其检测第一光强度、第二光强度及第三光强度,所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过测定对象物后的光的强度,所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过测定对象物后的光的强度,该第二波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低的波长,所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过测定对象物后的光的强度,该第三波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低,且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低的波长;厚度算出部,其使用第一光强度、第二光强度、及第三光强度,计算出测定对象物的厚度。
搜索关键词: 测定 装置 方法 记录 程序 介质
【主权项】:
暂无信息
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