[发明专利]一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法有效
| 申请号： | 201911065119.6 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110831343B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 徐节召;贺贤汉;阳强俊;戴洪兴 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/24 | 分类号： | H05K3/24 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，所述选择性化学沉银是指在DBC图形形成后，通过二次干膜把需要沉银的区域显现出来，不需要沉银的区域用干膜覆盖住；所述二次干膜包含如下步骤：第二次干膜，曝光，显影，沉银和去膜；在所述第二次干膜步骤后，曝光步骤前，对间距开窗；所述间距开窗是指：所述间距开窗是指：若两相邻铜箔图形之间的间距上的干膜存在孔隙，则开窗；若两相邻铜箔图形之间的间距上的干膜处于完全封闭状态，则不开窗。通过二次干膜曝光时在原干膜覆盖的间距处开窗及控制沉银厚度和化学沉银之后清洗流程来解决DBC基板选择性化学沉银时出现的板面污染、铜面氧化及银层脱落不良问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dbc 选择性 化学 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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