[发明专利]气密装置有效
| 申请号： | 201911065217.X | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN111326941B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 冈田康弘;万雅史;田中研太;河村让一 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无需使用密封机构即可将腔室等气体容器内保持为气密的气密装置。具备配置于填充气体的气体容器外且与气体容器一同形成气密空间的马达容器及旋转轴的马达安装于气体容器。马达容器包括分隔气体容器内的空间与马达容器内的空间的分隔部分。旋转轴从马达容器内穿过设置于分隔部分的第1孔而延伸至气体容器内。分隔部分除了设置有第1孔以外，还设置有使气体在马达容器内的空间与气体容器内的空间之间流通的第2孔。 | ||
| 搜索关键词： | 气密 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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