[发明专利]电子显微镜和图像处理方法有效
| 申请号： | 201911065476.2 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN111146062B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 片桐慎一 | 申请（专利权）人： | 日本电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/244;H01J37/28;G01N23/044;G01N23/2252;G01N23/2276 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 徐谦;刘宁军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够生成能容易地把握元素的三维分布的图像的电子显微镜。扫描电子显微镜(100)包含：电子检测器(40)，其对由于电子束照射到试料(S)而从试料(S)发射的电子进行检测；X射线检测器(50)，其对由于电子束照射到试料(S)而从试料(S)发射的X射线进行检测；及处理部(60)，其基于电子检测器(40)的输出信号和X射线检测器(50)的输出信号生成三维元素图，处理部(60)进行：基于电子检测器(40)的输出信号生成扫描电子显微镜像的处理；基于扫描电子显微镜像生成试料(S)的三维图像的处理；基于X射线检测器(50)的输出信号生成二维元素图的处理；及将二维元素图投影到三维图像来生成三维元素图的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 图像 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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