[发明专利]一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉有效
| 申请号： | 201911066888.8 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110904500B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 徐军;赵衡煜;王东海;李东振;王庆国 | 申请（专利权）人： | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B15/36;C30B15/10;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机，通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构，能够进行一锅晶体生长完成后设备不降温，采用机械传动方式取出晶体并更换籽晶，再次下种，重复晶体生长过程，与早前的籽晶替换方案相比，本发明不受籽晶备用舱中籽晶数量的限制，可多次开启籽晶备用舱取出晶体并替换备用籽晶。在坩埚熔体充足的前提下，可持续生长10‑20次，极大的提高蓝宝石晶体的生长效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多次 籽晶 替换 导膜法 蓝宝石 晶体生长 | ||
【主权项】：
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