[发明专利]双面抛光机用衬底片夹具及其抛光方法在审
| 申请号： | 201911067435.7 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110695844A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 苗泽民 | 申请（专利权）人： | 苏州爱彼光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 32269 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 安纪平 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了双面抛光机用衬底片夹具，包括圆形的衬底板，所述衬底板的两个表面对称设置有直径与衬底板一致的放料板，所述放料板上关于中心对称设置有若干个圆形的定位槽，所述定位槽沿衬底板向下两个表面方向一一对应，所述定位槽内同轴放置有用与产品接触的柔性垫片，所述柔性垫片中心同轴贴附有与衬底板相触的垫高贴片，当所述定位槽内放入衬底片后，衬底片的表面高度高于放料板的高度，其技术方案要点是，利用双面抛光机压盘的压力，使衬底片发生弯曲形变，衬底片中部向外凸起，通过双面抛光机抛光减薄，从而实现精修BOW值的目的，具有精度高的特点，夹具装片简单，一次能装夹多块衬底板，更高效；本发明还公开了一种衬底片抛光方法。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底板 衬底片 双面抛光机 定位槽 放料板 夹具 柔性垫片 技术方案要点 中心对称设置 表面对称 表面方向 定位槽沿 抛光减薄 同轴放置 弯曲形变 中心同轴 外凸起 抛光 垫高 多块 放入 精修 贴片 压盘 装夹 装片 | ||
【主权项】：
1.双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：包括圆形的衬底板，所述衬底板的两个表面对称设置有直径与衬底板一致的放料板，所述放料板上关于中心对称设置有若干个圆形的定位槽，所述定位槽沿衬底板向下两个表面方向一一对应，所述定位槽内同轴放置有用与产品接触的柔性垫片，所述柔性垫片中心同轴贴附有与衬底板相触的垫高贴片，当所述定位槽内放入衬底片后，衬底片的表面高度高于放料板的高度。/n
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