[发明专利]图案描绘装置有效
| 申请号： | 201911069205.4 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN110794651B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 铃木智也;奈良圭;加藤正纪;渡辺智行;鬼头义昭;堀正和;林田洋祐;小宫山弘树 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 薛平;谷敬丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基板处理装置，具备：旋转圆筒DR，以既定速度往与基板P宽度方向交叉的搬送方向搬送；描绘装置11，具有多个描绘模块UW1～UW5，将投射于基板P的描绘光束沿着基板P的描绘线扫描以将既定图案描绘于基板P上，以通过多个描绘模块UW1～UW5的各个而描绘于基板P上的图案彼此在宽度方向相接合的方式，将彼此在宽度方向相邻的描绘线于搬送方向配置成相隔既定间隔；调整机构24，调整描绘线相对于基板P宽度方向的倾斜；以及旋转位置检测机构，检测出基板P的搬送速度；根据以旋转位置检测机构检测出的搬送速度，通过旋转机构24调整描绘线的相对倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 描绘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图案描绘装置，在既定宽度的具有可挠性的基板上，投射根据与电子元件用的图案相应的描绘数据而被调变强度的描绘光束来描绘前述图案，其具备：/n基板搬送机构，支承前述基板以既定速度往与前述基板的宽度方向交叉的搬送方向进行搬送；/n描绘装置，具有多个描绘模块，前述描绘模块沿着将投射于前述基板的前述描绘光束的点光于较前述基板的宽度窄的范围于前述宽度方向进行扫描而得到的描绘线来将前述图案描绘于前述基板上；并具备平台，前述平台以通过前述多个描绘模块的各个而描绘于前述基板上的前述图案彼此在前述基板的宽度方向相接合的方式保持前述多个描绘模块；/n第1旋转机构，在包含以前述多个描绘模块的各个形成的前述描绘线的描绘面内，使前述平台与前述基板搬送机构可相对旋转；以及/n第2旋转机构，设于前述多个描绘模块的各个，并个别地调整以前述多个描绘模块的各个形成的前述描绘线的各个的倾斜。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911069205.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
