[发明专利]一种ESD二极管的版图设计方法有效
申请号: | 201911071138.X | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN111046623B | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 熊俊;朱敏 | 申请(专利权)人: | 芯创智创新设计服务中心(宁波)有限公司 |
主分类号: | G06F30/392 | 分类号: | G06F30/392;H01L27/02 |
代理公司: | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人: | 田明;任晓航 |
地址: | 315199 浙江省宁波市鄞州区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种ESD二极管的版图设计方法,包括:在P型衬底上设计一个DNW,在DNW的四周设计一个NW环与DNW连接起来,形成一个大的DNW封闭区域;再在所述DNW封闭区域中设计NW和PW,在NW的两侧各设计一个PW,在NW的上面设计P+注入区,在PW的上面设计N+注入区;N+注入区和P+注入区之间用STI隔离,N+注入区和P+注入区通过接触孔连接到金属,形成ESD二极管的两个端头P和N。本发明运用二极管的反向击穿来实现对内部电路的保护,巧妙地将中间的PW和NW不接到任何电位,引导电流通过N+‑‑PW‑‑NW‑‑P+形式的导通路径到地,从而实现优异的抗ESD性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 esd 二极管 版图 设计 方法 | ||
【主权项】:
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