[发明专利]一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法有效
| 申请号： | 201911072269.X | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110983268B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张晓慧;周子尧;胡忠强;李春雷 | 申请（专利权）人： | 西安科汇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;H01F41/16 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710075 陕西省西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法，包括：1)将选定基底进行预处理后，在其上采用直流磁控溅射法在真空度条件下，以不同功率依次沉积适宜被咪唑类离子液体调控的金属薄膜；2)，通过对浸润金属薄膜的咪唑类离子液体施加步长相同的循环电压，确认未发生化学反应的电压范围；3)在氮气保护条件下，通过改变离子液体两端电压调控金属薄膜磁性。发明降低了调控电压与电流，节约能源，减轻了设备腐蚀且易于操作，同时调控量大，对环境无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 离子 液体 调控 金属 薄膜 磁性 方法 | ||
【主权项】：
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