[发明专利]一种ScAlN SAW谐振器的制备方法在审
| 申请号： | 201911074669.4 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110943708A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王芳;闫硕;胡凯;张楷亮;邓盟;李开璇;邸欢欢 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/25 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 刘书元 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ScAlN SAW谐振器的制备方法，该方法包括以下步骤：a、在金刚石衬底上生长ZnO缓冲层；b、在ZnO/diamond上生长ScAlN压电层；c、采用电子束蒸发在ScAlN/ZnO/diamond上生长Al电极层；d、采用电子束曝光技术在Al电极层表面形成图形化光刻胶掩膜；e、采用刻蚀技术在Al电极层表面形成叉指换能器(IDTs)；f、将刻蚀后的样品进行剥离，构建SAW谐振器，用于测试与应用。通过控制ScAlN压电层和ZnO缓冲层的晶向，及Al电极层、ScAlN压电层和ZnO缓冲层的厚度，并通过刻蚀手段高效的制备叉指换能器(IDTs)结构，从而构建一种ScAlN SAW谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 scaln saw 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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