[发明专利]气体混合输出系统及方法在审
申请号: | 201911075458.2 | 申请日: | 2019-11-06 |
公开(公告)号: | CN112780947A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 简士堡;李仁捷;陈煖妮 | 申请(专利权)人: | 信纮科技股份有限公司 |
主分类号: | F17D1/02 | 分类号: | F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00 |
代理公司: | 北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙) 11725 | 代理人: | 聂宁乐;张莉 |
地址: | 中国台湾苗栗*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种气体混合输出系统包括供应多种气体的多个气体供应单元、气体稳压装置及气体缓冲单元,其中气体供应单元用以供应多种气体,且混合成混合气体;气体稳压装置连通于该多个气体供应单元,且调控混合气体在预设压力范围;气体缓冲单元连通于气体稳压装置,且回授混合气体的输出流量值及输出压力值至气体供应单元,使气体供应单元调节来自气体供应单元的混合气体的流量;气体稳压装置监测混合气体的压力值;当混合气体的压力值超出预设压力范围时,气体稳压装置开始动作,使混合气体的压力值回归预设压力范围。一种气体混合输出方法亦在此揭露。 | ||
搜索关键词: | 气体 混合 输出 系统 方法 | ||
【主权项】:
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