[发明专利]一种Al-Sc-X多元合金靶材及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911076611.3 申请日: 2019-11-06
公开(公告)号: CN110714142A 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: 余琨 申请(专利权)人: 长沙迅洋新材料科技有限公司
主分类号: C22C21/00 分类号: C22C21/00;C22C1/04;C23C14/34
代理公司: 43235 长沙轩荣专利代理有限公司 代理人: 黄艺平
地址: 410000 湖南省长沙市雨*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明属于合金靶材及粉末冶金材料加工技术领域,具体提供了一种Al‑Sc‑X多元合金靶材,所述Al‑Sc‑X合金靶材由以下重量百分比计的组分组成:50%~98%Al,1%~48%Sc,1%~49%X,其中所述X为Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一种或多种,该合金靶材可以拓展铝钪合金靶材应用范围。本发明进一步提供了一种Al‑Sc‑X多元合金靶材的制备方法,该方法采用粉末冶金热压烧结制备合金靶材,解决了与Al的熔点相差较大的金属与Al难以实现冶金结合的问题,且Sc和X不易发生氧化反应,该方法制备流程短,技术参数控制准确,适合批量生产。
搜索关键词: 合金靶材 靶材 制备 多元合金 熔点 粉末冶金材料 粉末冶金热压 加工技术领域 重量百分比 技术参数 铝钪合金 氧化反应 冶金结合 烧结 金属 拓展 应用 生产
【主权项】:
1.一种Al-Sc-X多元合金靶材,其特征在于,由以下重量百分比计的组分组成:50%~98%Al,1%~48%Sc,1%~49%X,其中所述X为Si、Mg、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Y、Nb、Mo、Ta、W和Ag中的一种或多种。/n
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