[发明专利]一种基于压差的MEMS光纤法珀低温液位传感器及其测量系统

摘要

本发明公开了一种基于压差的MEMS光纤法珀低温液位传感器及其测量系统，传感测量系统包括宽带光源(9)、光纤环形器(10)、低相干干涉解调器(11)及数据采集及处理系统(12)；所述传感头的结构包括单晶硅片(1)、腐蚀圆柱型凹槽并底部镀膜的Pyrex玻璃片(2)、低熔点玻璃(3)、中心带通孔的圆柱形玻璃柱(4)和多模光纤(5)；其中：腐蚀圆柱型凹槽并底部镀膜后的Pyrex玻璃片(2)的镀膜端面作为F‑P腔的第一个反射面，所述单晶硅片(1)的内表面用作感压硅膜片(15)，同时构成法珀腔的第二个反射面。本发明制作方法简单，不对被测液体及其容器造成任何影响，不需要额外机械装置。