[发明专利]用于真空蒸发系统的蒸发装置、用于沉积材料膜的设备和方法在审
| 申请号： | 201911078757.1 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN111139436A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | Y·卢梭;J-L·居约克斯;F·施特梅伦 | 申请（专利权）人： | 瑞必尔 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 牛晓玲;吴鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发装置，该蒸发装置包括蒸发室，该蒸发室包括加热装置和坩埚，该坩埚具有上部开口端和下部的封闭底部，旨在接收负载，该蒸发装置适于通过负载材料的蒸发或升华来产生气相材料流。根据本发明，该蒸发装置包括过滤插入件，该过滤插入件包括上部部件(20)和下部部件(21)，该上部部件具有锥形开口(11)，旨在布置于坩埚的开口端，该下部部件从上至下包括具有至少一个开口(130)的板(13)和一个格栅(14)，下部部件(21)旨在于上部部件(20)与负载之间布置在坩埚中。本发明还涉及一种用于在衬底上沉积材料膜的设备和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 蒸发 系统 装置 沉积 材料 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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