[发明专利]刻划装置及刻划方法在审
申请号: | 201911079419.X | 申请日: | 2019-11-06 |
公开(公告)号: | CN111196672A | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 曾山浩 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/033 | 分类号: | C03B33/033;C03B33/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 佟胜男 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够抑制刀轮晃动而稳定性良好地保持且能够以高精度加工高品质刻划线的刻划装置以及刻划方法。刻划装置通过一边将刀轮(2)按压于脆性材料基板(W)的表面一边使该刀轮相对移动而在基板(W)上加工刻划线,该刻划装置构成为,加工刻划线的刀轮(2)与马达(M)连结且朝向刻划行进方向自转。 | ||
搜索关键词: | 刻划 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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