[发明专利]一种纳米金属氧化物材料的制备方法在审
申请号: | 201911080056.1 | 申请日: | 2019-11-07 |
公开(公告)号: | CN110862072A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 张昱;王泽鹏;叶怀宇;张国旗 | 申请(专利权)人: | 深圳第三代半导体研究院 |
主分类号: | C01B13/32 | 分类号: | C01B13/32;C01G5/00;C01G9/03;C01G23/047;C01G45/02;C01G49/06;C01G53/04;B82Y40/00;B22F9/14 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 阎冬 |
地址: | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳米金属氧化物材料的制备方法,其方案为由依次连通的火花烧蚀装置和收集装置组成的制备系统,步骤一,使用火花烧蚀装置制备纳米金属,通过调节火花烧蚀装置电极两端所加电压的大小,来控制生成纳米金属颗粒的大小;步骤二,向制备系统通入空气,纳米金属与空气中的氧气发生反应生成纳米金属氧化物,并随空气的流动进入收集装置,最终沉积到收集装置指定区域的基底上。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 金属 氧化物 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
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