[发明专利]涡流检测装置和研磨装置在审
| 申请号： | 201911081294.4 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111152127A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 高桥太郎;涩江宏明;德永晋平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涡流检测装置和使用了该涡流检测装置的研磨装置，该涡流检测装置使在被研磨物中形成的磁场更强。能够配置在形成有导电性膜的半导体晶片的附近的涡流检测装置(50)具有多个涡流传感器(56)。多个涡流传感器(56)相互配置在附近。多个涡流传感器(56)分别具有：罐形芯(60)；励磁线圈，该励磁线圈配置于罐形芯(60)，且能够在导电性膜中形成涡流；以及检测线圈，该检测线圈配置于罐形芯(60)，且能够检测在导电性膜中形成的涡流。 | ||
| 搜索关键词： | 涡流 检测 装置 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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