[发明专利]一种阳极层离子源有效
| 申请号： | 201911081661.0 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110846624B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 吴忠振;余浩洋;崔岁寒;刘亮亮;吴忠灿 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56;H01J37/08 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型阳极层离子源，包括位于轴心位置的内阴极，环绕在所述内阴极外侧的外阴极，所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道；均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体；位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环，开设在所述阳极环内的通气孔，开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝，所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式，减少工作气体与阳极接触，从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 离子源 | ||
【主权项】：
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