[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 201911083382.8 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111254489A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 永冈达司;西中浩之;吉本昌广 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/16 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郎伊琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明在抑制加热炉内的喷雾的流速变化的同时改变加热炉内的喷雾的浓度。本发明提供一种成膜装置，其向基体的表面供给溶液的喷雾而使膜在所述基体的所述表面外延生长。该成膜装置具有：加热炉，其收容并加热所述基体；喷雾产生槽，其内部产生所述溶液的所述喷雾；喷雾供给路径，其连接所述喷雾产生槽和所述加热炉；载气供给路径，其向所述喷雾产生槽供给载气；稀释气供给路径，其向所述喷雾供给路径供给稀释气；以及气体流量控制装置，其控制所述载气的流量和所述稀释气的流量。所述气体流量控制装置在使所述载气的流量增加时，使所述稀释气的流量降低。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学，未经丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911083382.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种螺类放流装置
- 下一篇：一种空调冷凝器边板自动装配装置
