[发明专利]一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置及方法有效
申请号: | 201911084797.7 | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN110702018B | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 高春晓;蒋大伟;曹敏;韩永昊;岳冬辉;冀婷婷;刘浩 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 王恩远 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: |
本发明的一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置及方法,属于物理量测量的技术领域。所述的测量装置,主要结构包括:定位激光承台(8)、测角激光A承台(5)、测角激光B承台(2)、测距仪(3)、定位调平激光承台(30)以及定位激光承台滑轨(9)、测距滑轨(4)等;由折射定律关系sinθ |
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搜索关键词: | 一种 金刚石 顶砧内 样品 厚度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金刚石对顶砧内样品厚度测量装置,结构包括:中央处理器(1)、多功能调整平台滑轨(15)和安放于多功能调整平台滑轨(15)上的多功能调整平台(17),在多功能调整平台(17)上安装有金刚石A压砧(18)、金刚石B压砧(20)以及夹在金刚石A压砧(18)和金刚石B压砧(20)中间的样品承压垫片(19),样品承压垫片(19)中心压腔内放置样品(32);所述的多功能调整平台(17)是具备上下、左右、单侧倾角调整功能的平台;其特征在于,结构还有定位激光承台(8)、测角激光A承台(5)、测角激光B承台(2)、测距仪(3)、定位调平激光承台(30)以及定位激光承台滑轨(9)、测距滑轨(4);其中,定位激光承台(8)安放于定位激光承台滑轨(9)上,测距仪(3)、测角激光A承台(5)、测角激光B承台(2)安放于测距滑轨(4)上;/n在定位激光承台(8)上,安装有A图像传感器(10)和定位激光(11),并由A转换光路(12)连接,A转换光路(12)内的光路转口处还安装有A半透反射镜(7),A半透反射镜(7)与水平光路成45度角,以使定位激光(11)发出的光透过,并把来自金刚石A压砧(18)方向的光反射成竖直方向至A图像传感器(10);/n在测角激光A承台(5)上,安装有测角定位A激光(13)、测角A激光(14)、定位A传感器(16)和测角激光A滑轨(6);测角定位A激光(13)固定在测角激光A滑轨(6)的一端,测角A激光(14)能在测角激光A滑轨(6)上平移;/n在测角激光B承台(2)上,安装有测角定位B激光(22)、测角B激光(23)、定位B传感器(21)和测角激光B滑轨(29);测角定位B激光(22)固定在测角激光B滑轨(29)的一端,测角B激光(23)能在测角激光B滑轨(29)上平移;/n所述的定位A传感器(16)和定位B传感器(21)是测距仪(3)的两个传感探头,分别与金刚石A压砧(18)和金刚石B压砧(20)的底面接触,用于测量金刚石对顶砧的总厚度;/n在定位激光承台(8)上,安装有A图像传感器(10)和定位激光(11),并由A转换光路(12)连接,A转换光路(12)内的光路转口处还安装有A半透反射镜(7),A半透反射镜(7)与水平光路成45度角,以使定位激光(11)发出的光透过,并把来自金刚石A压砧(18)方向的光反射成竖直方向至A图像传感器(10);/n在定位调平激光承台(30)上,安装有定位调平辅助激光组支架(24)和B转换光路(26)以及由B转换光路(26)连接的B图像传感器(27)和定位调平激光(25);在定位调平辅助激光组支架(24)上安装有定位调平辅助激光组(28);在B转换光路(26)内的光路转口处还安装有B半透反射镜(33),B半透反射镜(33)与水平光路成45度角,以使定位调平激光(25)发出的光透过,并把来自金刚石B压砧(20)方向的光反射成竖直方向至B图像传感器(27);/n定位激光(11)、A图像传感器(10)、测角定位A激光(13)、测角A激光(14)、测距仪(3)、测角定位B激光(22)、测角B激光(23)、定位调平辅助激光组(28)、定位调平激光(25)、B图像传感器(27)均与中央处理器(1)进行电气连接。/n
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